透過遮罩、加長的噴嘴以及流量的調整改善微米粒子在平面上沉積的穩定性與均勻性

石安旗

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透过遮罩、加长的喷嘴以及流量的调整改善微米粒子在平面上沉积的稳定性与均匀性

Enhancing the Microparticle Deposition Stability and Homogeneity on Planer by Mask, Lengthened Nozzle and Flow Adjustment

石安旗 , 硕士　　导师：郑云谦　　

繁体中文

气悬胶体；均匀沉积；遮罩；气流稳定性； Aerosol ； Homogeneous Deposition ； Mask ； Flow Stability

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摘要 │ 参考文献 (26) │ 国际计量

摘要〈TOP〉

并列摘要〈TOP〉

This study is focus on improving the process of particle-based synthesis of peptide microarray with CMOS chip. In this method, high pressure stream is required for pouring into particle reservoir with a large number of bio-particles, and high pressure stream impact bio-particles to form aerosol. The turbulence of flow affects aerosol and then make particle depositing inhomogeneously on the chip surface. This phenomenon severely affects the reliability of the peptide microarrays. The research objective is to improve this phenomenon, so we build up a set of experimental system and replace bio-particle with carbon toner for doing deposition experiments. We use numerical simulations comparing with experimental results. In simulations, we use FLUENT to simulate the flow field of different nozzles, and then do experiments to verify the simulation results. In experimental results, when different pressure and flow rate are applied to experiments, it is found that carbon toner affected by ring vortex and formed a ring-shaped blank area. Therefore we use mask to restrict deposition area of particles. This is proved by experiments and simulation that mask effectively reduces the influences of ring vortex. Finally, the pressure affects the thickness of particle layer under the condition of fixed flow rate, and flow rate is the main condition for ring vortex phenomenon under the condition of fixed pressure.

参考文献 ( 26 ) 〈TOP〉

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