| 题名 |
矽奈米簇集矽氧化薄膜 |
| DOI |
10.29808/JVSROC.200508.0002 |
| 作者 |
李清庭；林駿宏；蔡泰成 |
| 关键词 | |
| 期刊名称 |
真空科技 |
| 卷期/出版年月 |
18卷2期（2005 / 08 / 01） |
| 页次 |
10 - 14 |
| 内容语文 |
繁體中文 |
| 中文摘要 |
利用新穎的雷射輔助化學氣相沉積系統沉積矽奈米簇集嵌入矽氧化薄膜，所成長的薄膜未經熱處理可見到光激發光的現象。由實驗數據推論量子侷限效應是矽奈米簇集嵌入矽氧化物基材主要的發光機制。 |
| 主题分类 |
基礎與應用科學 >
基礎與應用科學綜合 基礎與應用科學 > 物理 工程學 > 工程學綜合 |
