大氣熱裂解法合成氧化鋅奈米粒子之紫外光感測元件

10.29808/JVSROC.201012.0001

陳怡如(Yi-Ru Chen)；陳冠學(Kuan-Hsueh Chen)；江建宏(Chien-Hung Chiang)；徐國凱(Guo-Kai Hsu)；高維聰(Wei-Tsung Kao)；吳志明(Jyh-Ming Wu)

氧化鋅 ； 紫外光感測器 ； 大氣 ； 熱裂解 ； Zinc oxide ； Ultraviolet Photodetector ； Ambient Air ； Thermal Decomposition

真空科技

23卷4期（2010 / 12 / 31）

13 - 18

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本研究成功以低溫熱裂解(200℃)製程，於大氣壓力下成長氧化鋅奈米粒子，合成時間只需～10分鐘，氧化鋅奈米粒子被製成紫外光感測器(Ultraviolet Photodector)。感測元件在紫外光（波長：365nm，強度：2.33mWcm^(-2)）的照射下呈現劇烈的光電流反應。由場發射式掃描式電子顯微鏡觀察發現平均粒徑大小約為15.6~17.0nm。高解析穿透式電子顯微鏡影像分析顯示氧化鋅奈米粒子具六方纖鋅礦之單晶結構。感測元件經紫外光光源照射下量測，其靈敏度達10倍且具快速反應與回復時問分別為5及2秒。

In this work, the Zinc oxide (ZnO) nanoparticles have been successfully synthesized using thermal decomposition process in ambient air. The growing process required 10 minutes. The ZnO nanoparticles has been fabricated into a photodetector, which appear a significant photocurrent when irradiation under UV-light (λ=365 nm, I=2.33mWcm^(-2)). Field emission scanning electron microscopy (FESEM) images show that the average particle size is 15.6~17.0nm. High-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) image reveals that the ZnO nanoparticles are single crystalline with hexagonal wurtzite structures. The sensitivity (photocurrent to dark current ratio) of photodetector exhibited ~10 folds under UV-light irradiation. The response and recovery time is 5 and 2 seconds, respectively.