| 题名 |
半導體產業邁入10奈米世代新材料是關鍵 |
| DOI |
10.29913/NDLC.201203.0006 |
| 关键词 | |
| 期刊名称 |
國家奈米元件實驗室奈米通訊 |
| 卷期/出版年月 |
19卷1期（2012 / 03 / 01） |
| 页次 |
45 - 45 |
| 内容语文 |
繁體中文 |
| 主题分类 |
基礎與應用科學 >
物理 工程學 > 工程學總論 |
