| 题名 |
原子層沉積技術簡介 |
| 作者 |
陳品光 |
| 关键词 | |
| 期刊名称 |
國家奈米元件實驗室奈米通訊 |
| 卷期/出版年月 |
25卷3期（2018 / 09 / 01） |
| 页次 |
29 - 30 |
| 内容语文 |
繁體中文 |
| 主题分类 |
基礎與應用科學 >
物理 工程學 > 工程學總論 |
