鋼瓶更換電子化管理系統建置與安全危害分析－以半導體廠為例

10.6311/ISHM.201807_(349).0006

王聖淵；張翼

PDA ； 鋼瓶 ； 氣櫃 ； 檢核表 ； 電子化管理

工業安全衛生

349期（2018 / 07 / 20）

38 - 61

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本論文分析半導體廠鋼瓶更換電子化管理系統建置過程，首先了解廠務工程師及現場操作人員的需求，建置電子化管理系統平台，探討如何設計適合操作人員使用的鋼瓶更換作業檢核表，分析紙本轉移電子化會遇到的問題，用經驗及設置規劃用於新建廠施工設計之參考依據，整合不同時期氣櫃，將紙本鋼瓶作業檢核表，完整建置於PDA（Personal Digital Assistant）系統內，透過無線網路取得氣櫃各項數據，取代人員記錄、判斷、計算、比對，超出設定值，結合簡訊系統，即時通知工程師到場處理，有效減少人為判斷的失誤，降低半導體廠氣體更換作業的風險。使用FMEA（Failure Mode and Effects Analysis）失效模式與效應分析法，驗證電子化鋼瓶更換作業檢核表，是否有效達到管理鋼瓶更換作業流程，降低操作人員更換鋼瓶時的危害風險，保障操作人員的安全。

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