跨尺度奈米光學生物感測器之射出成型

謝文馨；黃裕欽；程佳俊；李訓源

微系統暨奈米科技協會會刊

50期（2023 / 12 / 31）

13 - 17

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藉由奈米光學結構作為核心元件並且搭配流體樣本儲存元件的生物感測器十分常見，為了符合光學及流體樣本的使用需求，利用射出成型技術製作出同時具有奈米結構與巨觀結構的高分子跨尺度奈米結構是一項十分重要的技術。透過先期研究得知，射出成型之溫度、壓力、速度等參數與結構尺寸息息相關，因此本研究即在探討跨尺度奈米射出成型品質與成型參數之關聯性。本研究以奈米級光柵結構搭配公厘級流體儲存槽作為跨尺度奈米光學感測器的示範元件進行射出參數探討，由研究結果顯示，射出速度和模具溫度對跨尺度奈米成型品質具有最大的影響性，且在最佳成型參數下，跨尺度奈米光學生物感測器的奈米結構轉印率可達到95.4%以上，並且可搭配分段射出以獲得最佳的元件整體品質。