以高密度電漿技術製作矽薄膜太陽能電池及電晶體之自供電力線路模組

10.29659/NARLQ.201104.0008

沈昌宏；謝嘉民；戴寶通

國研科技

30期（2011 / 04 / 01）

46 - 55

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國研院奈米元件實驗室發表－高密度電漿矽薄膜沉積技術，此技術可用來製造高效率且低成本之薄膜太陽能電池，並可將此電池整合進電晶體模組中。本實驗室在140℃下，成功製造矽薄膜太陽能電池達到9.6％光電轉換效率，所製造之電晶體其電子遷移率也達到V-s分之1.1平方公分。藉由此低溫薄膜沉積技術，我們將可以整合電子元件於價格低廉、可撓式之基板上，以達到能源充沛利用的成果。