擴散製程影響多晶矽太陽能電池效率之品質特性最佳化

10.29709/ecmanagement.201005.0584

連逸芳；陳佩卿

多晶矽 ； 田口方法 ； 熱擴散 ； 多重品質特性 ； 製程參數最佳化

電子化企業經營管理理論暨實務研討會

第11屆（2010 / 05 / 29）

584 - 591

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高溫熱擴散(Diffusion)的設備為多矽晶太陽能電池決定光伏特來源的生產設備，因此本研究尋求擴散製程參數最佳化，此為多目標問題。環保議題延燒加上能源逐漸短缺，開發替代性的能源是勢在必行。太陽的能量是取之不竭、用之不竭，若能有效運用太陽能，不僅能解決消耗性能源的問題，環保問題也可一併獲得改善。熱擴散製程為複雜與非線性之化學與物理反應，加上製程常有品質特性的變動和異常，因此本研究利用田口方法結合主成分分析與多目標準則決策尋求在熱擴散製程中各種參數的最佳設定值，以增加多晶矽太陽能電池產品的良率並達到品質的提升。